Microstructure and optical properties of TiO2 thin films deposited at different oxygen flow rates

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为了研究氧流动的影响,在 TiO2 薄电影的结构、光的性质上评价,玻璃上的 TiO2 电影被反应磁控管劈啪作响扔。微观结构和光性质被 X 光检查 diffractometry, AFM 和紫外力的发射度光谱学分别地测量。这些电影以 10 mL/min 的氧流动率扔了的结果表演有最低粗糙和最高的发射度。到氧流动评价的更长的波长的吸收角度移动从 5 ~ 10 mL/min 增加,然后从 10 ~ 30 mL/min 作为氧流动率增加到更短的。乐队差距是 3.38 eV,它在实验是将近不变的。为在 oxyge
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