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ULSI用193nm光刻胶的研究进展
ULSI用193nm光刻胶的研究进展
来源 :精细化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lxh5310
【摘 要】
:
从193 nm光刻胶的各个组分,如:主体树脂、光致产酸剂、溶解抑制剂、碱性添加剂以及存在的问题和解决途径等多个方面综述了193 nm深紫外光刻胶的发展与现状.
【作 者】
:
郑金红
黄志齐
文武
【机 构】
:
北京化学试剂研究所
【出 处】
:
精细化工
【发表日期】
:
2005年5期
【关键词】
:
193nm
光刻胶
主体树脂
光致产酸剂
酸敏基团
溶解抑制剂
碱性添加剂
【基金项目】
:
国家 863计划项目(2002AA3Z1330)~~
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从193 nm光刻胶的各个组分,如:主体树脂、光致产酸剂、溶解抑制剂、碱性添加剂以及存在的问题和解决途径等多个方面综述了193 nm深紫外光刻胶的发展与现状.
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