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研究了基于PMMA波导的乐甫波传感器，研究了器件的插损以及质量灵敏度随波导层厚度变化的关系。采用低浓度、低粘度的前驱溶液，多步旋涂工艺制备了PMMA波导薄膜，降低了器件的插损，实现了2．18μm的“有效厚度”，器件的质量灵敏度达705cm^2／g，与前人相比提高了1倍。
有机波导制备工艺对乐甫波传感器性能的影响
【摘 要】
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研究了基于PMMA波导的乐甫波传感器，研究了器件的插损以及质量灵敏度随波导层厚度变化的关系。采用低浓度、低粘度的前驱溶液，多步旋涂工艺制备了PMMA波导薄膜，降低了器件的插损
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2009年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（60736005）,博士点基金资助项目（20070614047）
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