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电子束表面改性技术是改善材料硬度、耐磨性和耐腐蚀性的有效途径。目前国外电子束表面改性多与其他表面处理技术相结合,达到进一步提高材料表面性能的目的。介绍电子束表面改性及其复合处理技术对模具钢、高速钢、钛合金、铝合金及镁合金表面硬度、耐磨性和耐腐蚀性的改善效果,综述目前国内电子束表面处理的研究进展,说明电子束表面改性的局限性和发展方向。经过电子束表面改性,可以使材料硬度提高7倍、耐磨性提高10倍、腐蚀速率降低66%。