【摘 要】
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本文以金相显微镜(放大倍数分别为800×,400×)为观测手段,研究了NaOH溶液浓度、反应时间、温度和IPA浓度等参数对单晶硅制绒效果的影响,通过金相显微镜显微图像的对比分析发
【基金项目】
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教育部新世纪优秀人才支持计划项目(No:NCET-11-1005);辽宁省自然科学基金项目(No:201102005);辽宁省教育厅一般项目(No:L2012401);辽宁省百千万人才资助项目(No:2012921061);辽宁省高等学校优秀人才支持计划(No:LR201002)
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本文以金相显微镜(放大倍数分别为800×,400×)为观测手段,研究了NaOH溶液浓度、反应时间、温度和IPA浓度等参数对单晶硅制绒效果的影响,通过金相显微镜显微图像的对比分析发现:当NaOH溶液浓度大于2%条件时,温度小于75℃时,单晶硅表面的绒面效果较差.当制绒液中NaOH和IPA的浓度分别为1.57%和5%,且制绒时间和制绒温度分别为25 min和80℃时,制备的绒面结构均匀,金字塔的覆盖率约为100%,即可实现最优的制绒效果.
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