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本文介绍了多弧离子镀膜技术中卡具的设计原则，装卡方式及装卡量对膜层质量的影响。
多弧离子镀膜卡具的设计
【摘 要】
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本文介绍了多弧离子镀膜技术中卡具的设计原则，装卡方式及装卡量对膜层质量的影响。
【机 构】
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哈尔滨第一工具厂
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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1996年5期
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