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针对半导体器件中的热击穿，通过分析已有的理论模型，把频率对器件热区热产生和热传导的影响引入理论模型．利用格林函数求解热传输方程，同时对余误差函数进行近似处理，求解得到热区温度以及器件烧毁功率与频率和脉冲宽度的表达式．通过数值分析，求解得到不同频率下器件烧毁功率随脉冲宽度的变化规律以及不同脉冲宽度下器件烧毁功率随频率的变化规律，同时给出了频率对器件烧毁功率影响的物理解释．