氧气流量对电弧离子镀TiAlON涂层结构和性能的影响

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目的探究氧气流量对电弧离子镀制备的TiAlON涂层结构和性能的影响。方法在高速钢表面,使用自制的电弧离子镀设备,在不同的氧气流量下制备了不同O含量的TiAlON涂层。采用EDS结合XPS对涂层的成分进行分析,采用XRD对涂层的晶体结构进行分析,采用SEM对涂层的表面形貌进行分析,采用努氏硬度表征了涂层的硬度,使用压痕法和划痕法对TiAlON涂层的结合强度进行分析,将样品在900℃条件下保温1h,对热处理后涂层的表面形貌和成分进行了分析。结果氧气流量从30mL/min增加到120 mL/min时,涂层中的O
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