【摘 要】
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零偏是研究MEMS加速度计的重要性能指标之一。通过对给定的加速度计进行大量实验得出其零偏的随机误差特性、温度特性、大过载环境下的变化规律,解算出MEMS加速度计的零偏、
【机 构】
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清华大学深圳研究生院先进制造学部; 西南科技大学制造科学与工程学院;
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零偏是研究MEMS加速度计的重要性能指标之一。通过对给定的加速度计进行大量实验得出其零偏的随机误差特性、温度特性、大过载环境下的变化规律,解算出MEMS加速度计的零偏、零偏稳定性、零偏重复性,得出该加速度计具有较好的稳定性能,为零偏补偿提供保障。建立零偏温度模型,在不同温度下进行零偏温度补偿实验,通过最小二乘法拟合得到MEMS加速度计的温度标度因数和温度零偏。实验结果表明,该补偿方法操作简便,能够有效补偿温度引起的MEMS加速度计测量误差,具有较强的工程使用价值。补偿后进行大过载环境下的实验研究,结果表明MEMS惯性器件重新稳定的时间在1~2s之间,大过载环境对MEMS惯性器件零偏影响很小,再次验证了该补偿方法的可行性。
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