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介绍了利用二次电子发射测量束流强度分布的基本原理。针对能量为几十keV的低能离子束，制作了一个基于印刷线路板工艺的离子束剖面测量系统模型。模型采用宽度1．8mm的金属条作为收集电极，相邻两条之间的间距为2mm。利用电子回旋共振源对束流剖面测量系统进行了性能测试，考察了网栅电压对信号收集的影响以及系统的线性响应和成像特性。结果表明，探测器输出信号与束流强度之间具有较好的线性关系，系统能得到离子束的一维横向强度分布，位置分辨率2mm。