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讨论了在金属有机汽相外延(MOVPE)生长ZnSe过程中,为控制导电性而进行掺杂工艺研究的最新进展,初步获得了一些实验结果。着重阐述了用MOVPE法生长ZnSe及其相关合金在蓝色电致发光中的应用及前景。
MOVPE生长ZnSe的导电性控制及其在蓝色电致发光中的应用
【摘 要】
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讨论了在金属有机汽相外延(MOVPE)生长ZnSe过程中,为控制导电性而进行掺杂工艺研究的最新进展,初步获得了一些实验结果。着重阐述了用MOVPE法生长ZnSe及其相关合金在蓝色电致
【出 处】
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液晶与显示
【发表日期】
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1990年6期
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