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本文设计了一个控制温度的模糊专家系统,用在半导体微机械加工制作中,控制腐蚀装置的温度,在负载较重、加热功率较大的条件下,能够有效地使其满足腐蚀工艺的温度要求.与传统PID算法控制系统相比,本系统能够快速、长时间地稳定在设定的温度.
用于半导体微机械加工中温度控制的模糊专家系统
【摘 要】
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本文设计了一个控制温度的模糊专家系统,用在半导体微机械加工制作中,控制腐蚀装置的温度,在负载较重、加热功率较大的条件下,能够有效地使其满足腐蚀工艺的温度要求.与传统P
【机 构】
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南开大学信息学院微电子学系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2002年3期
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