论文部分内容阅读
研究了TMAH溶液中（110）硅片在不同几何形状掩膜窗口下的各向异性湿法腐蚀行为,探讨了（110）硅在TMAH与不同添加剂（过硫酸铵、异丙醇等）构成的腐蚀系统下的腐蚀特性。利用场发射扫描电子显微镜（SEM）观测（110）硅的腐蚀坑腔结构,利用扫描探针显微镜（SPM）测量（110）硅腐蚀的表面粗糙度。结果表明：（110）硅片腐蚀的坑腔结构与掩膜窗口的大小和腐蚀时间有关;在充分腐蚀的情况下,（110）硅片腐蚀的坑腔结构是由四个与表面垂直的（111）面和另外两个与表面成35.26°夹角的（111）面围