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线性光学系统的光学传递函数可由线扩散函数的傅里叶变换求出。研究了用电荷耦合器件测量亚微米投影光刻物镜的ＭＴＦ值的系统，用ＣＣＤ作为光电转换器件，对ＣＣＤ接收到的ＬＦＳ的光强信号进行视频放大，采样，用数字存储示波器可方便地测得系统的ＭＴＦ值。
亚微米投影光刻物镜MTF的简便测定方法
【摘 要】
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线性光学系统的光学传递函数可由线扩散函数的傅里叶变换求出。研究了用电荷耦合器件测量亚微米投影光刻物镜的ＭＴＦ值的系统，用ＣＣＤ作为光电转换器件，对ＣＣＤ接收到的ＬＦＳ的光强信号进行视频放大
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2000年3期
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