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新型不锈钢隔离膜压力传感器
新型不锈钢隔离膜压力传感器
来源 :中国仪器仪表 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jaredchen123
【摘 要】
:
世界领先的硅微机械加工压力、加速度传感器制造商———美国EG&GICSensors日前宣布了一款新系列压力传感器,设计用于腐蚀性介质的压力测量。采用新型芯片和制造工艺,使得该系列压力传感器性
【作 者】
:
梁天波
【机 构】
:
EG&G中国代表处
【出 处】
:
中国仪器仪表
【发表日期】
:
1998年4期
【关键词】
:
压力传感器
隔离膜片
传感器性能
传感芯片
硅微机械加工
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世界领先的硅微机械加工压力、加速度传感器制造商———美国EG&GICSensors日前宣布了一款新系列压力传感器,设计用于腐蚀性介质的压力测量。采用新型芯片和制造工艺,使得该系列压力传感器性能指标充分提高而且成本更低。关键特性●改善的线性:±0.1%...
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