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针对多层微悬臂梁中沉积层厚度对整体结构固有频率的影响，运用多层微悬臂梁的弯曲振动方程，并结合边界条件建立起了多层微悬臂梁结构的有限元模型，重点分析了多层微悬臂梁结构的有限元建模方法及沉积层厚度对微梁结构振动特性的影响。数值计算结果表明，多层材料微梁结构中沉积层厚度对其固有频率将产生显著的影响，呈现出随着厚度的增加固有频率先降后升的趋势。