论文部分内容阅读
在对集束型半导体装备控制软件（Cluster Tool Controller,CTC）架构及SEMI（Semiconductor Equipment and Materials Institute）标准研究的基础上,提出了基于SEMI标准的CTC调度系统架构模型,包括用户界面层、作业与调度管理层、模块管理层、数据通信协议层和模块控制器层。作业与调度管理层根据加工配方和晶圆流模式产生控制命令,并且给出了加工模块故障的异常处理流程;在模块管理层,给出了符合SEMI CTMC（Cluster Tool Modu