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采用微波PCVD系统进行了高品质透明金刚石膜的制备，在金刚石膜的沉积过程中，微波功率的变化直接影响着金刚石膜的生长和质量。用Raman，SEM等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征。
微波功率对光学级金刚石膜生长的影响
【摘 要】
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采用微波PCVD系统进行了高品质透明金刚石膜的制备，在金刚石膜的沉积过程中，微波功率的变化直接影响着金刚石膜的生长和质量。用Raman，SEM等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征
【机 构】
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长春大学理学院
【出 处】
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长春大学学报
【发表日期】
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2012年6期
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