论文部分内容阅读
本文研究了小线宽情况下非曝光因素对CD的影响，发现显影过程会使CD产生5%的波动从而影响工艺稳定度。排除显影中烘烤对CD的影响，找出导致CD波动的主要因素为显影液的流量，并提出统一显影液流量以达到显影过程中对CD的精确控制。
小线宽下显影过程对CD影响的研究
【摘 要】
：
本文研究了小线宽情况下非曝光因素对CD的影响，发现显影过程会使CD产生5%的波动从而影响工艺稳定度。排除显影中烘烤对CD的影响，找出导致CD波动的主要因素为显影液的流量，并提出
【机 构】
：
上海交通大学微电子学院
【出 处】
：
中国科技纵横
【发表日期】
：
2014年15期
其他文献
苯并呋咱-N-氧化物及其衍生物的合成研究取得了很大进展,特别是采用次氯酸钠氧化邻硝基苯胺的合成方法和生产工艺呈现出许多不同的特点.这类合成以邻硝基苯胺一类化合物为原
对32个不同品种澳洲坚果生长、开花和坐果性状进行比较研究,结果表明:788树形直立、枝条粗壮,果实成熟早,较丰产;695根系发达、抗风力强,产量稳定,但果实偏小;OC树势中等,丰
采用水解酸化工艺处理工业废水所占比重较大的城市污水,工程实践表明,水解酸化对COD的去除率为57.62%,对BOD5的去除率为51.64%,对SS的去除率为85.9%,对氨氮的去除率为32.13%,
采用改良的热诱导化学聚合技术,在聚偏氟乙烯(PVDF)微滤膜表面接枝具有离子交换性能的羧酸基团,并借助X衍射光电子能谱(XPS)和环境扫描电镜(ESEM)对改性PVDF微滤膜进行了表征
当前，农村生活污水是农村水环境污染的重要因素，也是农村水源地潜在的安全隐患，加强农村生活污水治理是新农村建设的重要内容，也是农村居住环境改善需要解决的迫切问题。本文归纳
千百年来马文化在海西州农牧民生产、生活等各个方面产生了极其深远的影响。随着时代的发展和变化,以体育、休闲及文化事业为主的马文化极其产业正在海西悄然兴起。本文详细
不论在工农业生产、经济学中，还是管理学、工程技术及科学实验中，小至日常用具的制作，大至生产科研和各类经营活动，都要讲究效率，考虑怎样以以最小的投入最大化的解决问题。这类问
克拉玛依南郊污水处理厂采用Orbal氧化沟工艺处理城市生活污水。一年多的稳定运行数据表明,Orbal氧化沟对城市污水具有很好的处理效果,但同时也发现了一些问题,如外沟DO过高