微电子工业用湿化学品的生产和发展

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叙述了集成电路芯片加工用的湿化学品的分类,主要是超净高纯试剂和溶剂,以及如何达到国际半导体设备和材料协会所要求的C7、G8或C12规格的纯化方法.
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