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扫描探针显微镜的基础知识

来源 :现代物理知识 | 被引量 : 0次 | 上传用户：q2347386

【摘 要】

：

<正>本世纪80年代初,扫描探针显微镜(SPM)对硅表面第一次的实空间成象使整个世界为之震惊,现在扫描探针显微镜已在各行各业获得了广泛的应用,包括表面科学,常规表面粗糙度的

【作 者】

：

胡晓明 

【机 构】

：

中国科学院物理研究所!北京100080

【出 处】

：

现代物理知识

【发表日期】

：

1997年02期

【关键词】

：

扫描探针显微镜 AFM 压电扫描器 横向力显微镜 基础知识 

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<正>本世纪80年代初,扫描探针显微镜(SPM)对硅表面第一次的实空间成象使整个世界为之震惊,现在扫描探针显微镜已在各行各业获得了广泛的应用,包括表面科学,常规表面粗糙度的分析及表面从原子级到微米级凸起的三维成象。

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