SiGeC三元合金的研究进展

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SiGeC三元合金是一种新型的Ⅳ-Ⅳ族半导体材料,其中的碳可以为SiGe合金提供应变补偿,调节能带结构,提高热稳定性,从而有利于高性能光电器件的制备.本文总结了近年来关于SiGeC的性能、制备和应用方面的若干研究结果,并对SiGeC进一步的研究方向提出了自己的建议.
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