【摘 要】
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利用传统方法对传感器进行误差标定时,未考虑传感器位移信息的测量和处理,导致非线性误差标定结果误差大、标定效果差,针对该问题,提出一种基于激光干涉的传感器非线性误差标
【基金项目】
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重庆市科学技术委员会基金项目:(No.cstc2013jcsfA90002);重庆市自然科学基金项目(No.CSTC2011BB2064);四川省教育厅科研项目(No.SCYG2015-2-12)
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利用传统方法对传感器进行误差标定时,未考虑传感器位移信息的测量和处理,导致非线性误差标定结果误差大、标定效果差,针对该问题,提出一种基于激光干涉的传感器非线性误差标定方法。首先通过传感器和激光干涉仪根据测量原理进行位移测量,做好非线性误差的标定的准备工作;然后对位移测量数据进行预处理,对误差确定及影响因素进行分析,确定误差位移量、余弦关系式等信息完成传感器非线性误差的标定,最后测试结果表明:与其它两种传统传感器非线性误差标定方法相比,本文方法的传感器非线性误差标定误差更小,标定效果更好,更适合精密仪器的误差标定工作。
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