纳米压痕法测磁控溅射铝薄膜屈服应力

来源 :固体力学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：andacaizheng

【摘要】

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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技

【作者】

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董健龙芝剑孙笠蒋恒

【出处】

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固体力学学报

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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屈服应力曲率法球形压头纳米压痕

【基金项目】

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传感技术联合国家重点实验室基金(SKT1305);浙江省公益性技术应用研究项目(2016C34007)资助

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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技术领域,包括主机、控制电路和计算机三部分组成,主机包括由棱镜。敏感膜敏感芯片、半导 Ue*M#

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