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本文针对MEMS传感器存在的随机误差和确定性误差进行建模,运用Allan方差理论对MEMS传感器信号进行了定量分析,同时考虑传感器各轴的不正交特性,构建确定性误差校正模型,实现对误差的快速消除,通过构建的随机误差系数和确定性误差校正模型,可以正确评价陀螺仪的性能指标,构建的误差模型可用于导航算法传中感器误差的消除。