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表面处理对气敏元件特性的影响
表面处理对气敏元件特性的影响
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tanwenbin89
【摘 要】
:
利用表面修饰技术,通过不同气氛,溶液处理气敏元件表面,提高了元件的灵敏度,改善了选择特性。
【作 者】
:
全宝富
卢革宇
【机 构】
:
吉林大学
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
气敏元件
表面处理
元件特性
Surface modification Gas sensor Selectivity
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利用表面修饰技术,通过不同气氛,溶液处理气敏元件表面,提高了元件的灵敏度,改善了选择特性。
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