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针对光学监控系统（OMS）实际工作中面临监控信号含有噪声分量过大;极值点附近信号不够灵敏两大困难。本文采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波（AKF）对光学膜厚监控信号进行去噪处理;并采用基于电压补偿和设置差分微小阈值δ的极值点判定方法。最后通过DSP开发平台实现上述算法。实验结果表明AKF输出监控信号噪声被明显抑制;最终本文方案判定极值点平均膜厚监控相对误差仅为1.07%。结果