【摘 要】
：
淀积在氧化了的硅片上的多晶硅和非晶硅中的应力由多晶硅条下面侧蚀的边缘伸长情况来决定。该方法仅用于测量压应力,具有10~3dyn/cm~2的应力分辨率和距硅片250μm的空间分辨
论文部分内容阅读
淀积在氧化了的硅片上的多晶硅和非晶硅中的应力由多晶硅条下面侧蚀的边缘伸长情况来决定。该方法仅用于测量压应力,具有10~3dyn/cm~2的应力分辨率和距硅片250μm的空间分辨率。淀积在氧化物上未退火的硅薄膜有高的压应力(10~(10)dyn/cm~2),除了所研究的最薄多品硅薄膜(厚度为230nm)之外,经过1100℃、20min氮气中退火后,该应力减少到测试分辨率以下。
其他文献
本文讨论了建立人体模型静电放电敏感度测试系统的方法及用Spice程序模拟、控制放电波形的途径,给出了一些CMOS集成电路的测试结果,对不同电路的不同失效模式进行了分析。
本文针对微计算机进行多维纵横向报表的打印方法及技巧进行了分析研究,提出一种利用函教程序及树枝型结点索引选择法,解决了国内多维汉字报表打印过程中内存不足与选择灵活性
本文简述了常规钝化方式,讨论了液相钝化和PECVD氮化硅钝化的原理、工艺及其在台面大功率管表面钝化中的应用。
目的 改进胆肠吻合术操作方法,提高胆肠吻合术的质量.方法 行胆肠吻合术57例.并进行临床观察.根据胆管口径大小、形态是否规整、游离度大小、术野宽敞度及显露满意度等情况的不同,分别采用对拢式前后两定点、对拢式三定点、敞开式三定点、不规则敞开式定点分割等显露方式,行黏膜对黏膜的一层内翻间断缝合法,将线结全部打在腔外,保证吻合口内面光滑、无线结存留.结果 住院期间总的并发症发生率为12.3%(7/57)
本文简单介绍多重链表结构这一动态非线性数据结构,举例阐述其在数据处理中的应用及其各种变形。特别是对于具有多个辅关健字倒排文档的数据类型,采用这种数据结构可以解决一
受微机内存空间等因素的限制,汉化Lotus 1—2—3软件不能被广泛使用,如为西文1—2—3的运算结果加汉字表栏,即可充分地发挥软件的功能,又便于阅读,是一种简单实用的解决办法
目的 探讨B超引导下经皮肾镜取石术治疗鹿角状肾结石的安全性及有效性.方法 回顾性分析21例鹿角状肾结石患者的临床资料,其中双侧结石3例.结果 21例患者中有1例在扩张通道过程中导丝脱出,重新穿刺置入导丝并扩张通道成功.其余20例(23侧)均1次成功建立皮肤肾脏通道.一次取净结石10例,二次取净结石7例,单通道取石12例,双通道取石9例.结石总取净率81.0%,平均手术时间(85.0±38.8)mi
目的 探讨胃大部切除术和全胃切除术治疗进展期贲门癌的疗效.方法 对123例进展期贲门癌患者施行外科手术治疗的3、5年生存率以及术后并发症的发生率和病死率进行分析.其中胃大部切除术组(PG组)84例,全胃切除术组(TG组)39例.结果 PG组的3、5年生存率分别为43.6%和20.5%,TG组分别为36.8%和18.2%,两组比较差异无统计学意义(X2=3.82,P＞0.05;X2=3.85,P＞0
目的 探讨保留肾单位手术(NSS)治疗肾血管平滑肌脂肪瘤(RAML)的安全性及有效性.方法采用NSS治疗RAML 39例患者,其中肿瘤剜除术23例,肾部分切除16例,2例患者术前行选择性肾动脉栓塞术.结果术中切除肿瘤平均直径5.8 cm(3.0～14.0 cm),术中平均失血量190 ml(75～800 ml),术后无出血、尿瘘,38例患者平均随访48个月(1～120个月),术后肾功能相对稳定,未
近年来,随着交通、建筑业的发展,事故增多以及人口年龄的老化,骨折发生率呈逐年上升趋势.新材料、新器械的应用和不断更新换代,特别是大量国际先进的固定器材进入国内市场后,新的理论观点、手术和技术操作在推动现代骨科临床医疗工作迅速发展的同时,由于国内医疗市场的巨大,创伤骨折的复杂性,医疗条件、患者个体差异的多样性等,影响着骨折的治疗.如何在现今条件下对应用骨折内固定术后可能出现的并发症有高度认识和重视,