【摘 要】
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含氟电子特气主要用于芯片制造过程中的刻蚀和清洁工段，是不可或缺的关键性化工材料。首先，比较了传统含氟电子特气和新型含氟电子特气，重点总结了新型含氟电子特气的主要合成路线，并指出最佳的产业化路线；然后，介绍了芯片制造用含氟电子特气的发展现状；最后，针对当前含氟电子特气的主要知识产权被国外发达国家所垄断，且刻蚀和清洁工序的分步操作导致工序繁复且效率低下，难以满足高端芯片集成度和良品率等更高的精度需求问
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含氟电子特气主要用于芯片制造过程中的刻蚀和清洁工段，是不可或缺的关键性化工材料。首先，比较了传统含氟电子特气和新型含氟电子特气，重点总结了新型含氟电子特气的主要合成路线，并指出最佳的产业化路线；然后，介绍了芯片制造用含氟电子特气的发展现状；最后，针对当前含氟电子特气的主要知识产权被国外发达国家所垄断，且刻蚀和清洁工序的分步操作导致工序繁复且效率低下，难以满足高端芯片集成度和良品率等更高的精度需求问题，提出今后研究应开发满足国家重大战略需求的新一代含氟电子特气，具备刻蚀/清洁协同双功能，具有简化工序、提高效率、提升芯片制造良品率的优点，实现对当前刻蚀和清洁仅能分步操作的含氟电子特气的理想替代。
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