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ＺｎＳｅ基材料是研制蓝绿色发光器首选材料之一。本文报道一种自己研制的，以石英管为主体结构材料的，可适用于ＺｎＳｅ基材料分子束外延掺杂的简易等离子体活性氮源。该氮源采用射频激励方式激活氮分子。在适当生长条件，利用装备有该氮源的国产ＦＷ－Ⅲ型分子束外延设备，成功地生长出Ｐ型ＺｎＳｅ优质单晶薄膜，ＳＩＭＳ测量表明，薄膜中氮浓度高达～２．３×１０＾２０ｃｍ＾－３，Ｃ－Ｖ测量表明，净空穴浓度（Ｎａ）－（Ｎｄ