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针对石油勘探的应用需求，分析了MEMS加速度传感器及其检测电路的噪声源，并对不同电路结构的噪声进行了比较。根据分析结果，采取多种措施进行了改进，振动测试结果表明：传感器分辨力由原来的大于0．01m／s^2提高到0．001m／s^2，进一步提高了MEMS加速度传感器的性能。
石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究
【摘 要】
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针对石油勘探的应用需求，分析了MEMS加速度传感器及其检测电路的噪声源，并对不同电路结构的噪声进行了比较。根据分析结果，采取多种措施进行了改进，振动测试结果表明：传感器分辨力
【机 构】
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中国科学院上海做系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院研究生院
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2007年1期
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