【摘 要】
：
北京七○○厂生产的平板型等离子刻蚀机是目前国内比较先进的一种机型,该机的主要组成部分有反应室及真空系统。刻蚀的基本原理是:C_7F_(14)(氟油)在高频电场作用下产生高能
论文部分内容阅读
北京七○○厂生产的平板型等离子刻蚀机是目前国内比较先进的一种机型,该机的主要组成部分有反应室及真空系统。刻蚀的基本原理是:C_7F_(14)(氟油)在高频电场作用下产生高能的活性分子C_7F_(14),而活性分子又可解离为自由基C_7F_(13)、F,氟自由基的化学活性很
Beijing 700 Factory production of flat-panel plasma etching machine is currently a more advanced type of aircraft, the aircraft’s main components are the reaction chamber and the vacuum system. The basic principle of etching is: C_7F_ (14) (fluorine oil) generates high-energy active molecule C_7F_ (14) under high-frequency electric field and the active molecule can dissociate into free radical C_7F_ (13) Base chemical activity is very
其他文献
BenQ(明基)的Q-scan(扫描管家)系列扫描仪产品最大的特点是通过软硬件结合的方式实现了平台扫描、胶片透扫和名片扫描三大功能,目前此系列共有Q43、Q50、Q51、Q52、Q53五款产
1.2010南非世界杯用球“普天同庆”全世界球迷都知道南非世界杯专用足球,它的中文名叫“普天同庆”。但鲜为人知的是,它是由月薪2000元人民币的中国工人缝制的。江西九江思麦
几年前,我们的课堂就是教师一支粉笔加一块黑板,整个课堂是整齐划一的。而如今,我们的课堂变了,已是形式多样、声光俱全了。是什么改变了这一切呢?自然要归功于信息技术日新
半导体光学元器件的飞速发展激发了大量有关硅表面及其吸附以及半导体界面光学性质的理论研究。从微观电子结构数据计算线性和非线性光学常数和光谱是一种有效的方法。我们
在农村高中体育教学中,由于体育器材的匮乏、教学手段的单一,往往使学生达不到锻炼的效果,容易出现放羊式教学。
In rural high school physical education, due to the lac
语文教学与学生的生活息息相关,其在一定程度上决定着学生个体成长与发展的方向和模式。
Chinese teaching is closely related to the life of students, which to a certa
红外成象探测器的主要特性是由其热灵敏度和空间分辨率来表征,热灵敏度决定了探测器能探测到目标的限定距离,分辨率则决定了可以观察到目标细节的距离。红外焦平面探测器的
一、材料与方法1、菌种的制备:以中国科学院微生物研究所分离的“5.69”纯菌种—紫芝,作二级(一级斜面菌种,二级木屑培养基菌种)扩大培养。培养基的配方、灭菌、接种、培养