硅基太阳电池的表面纳米织构及制备

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chenxiaoyi1988
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综述了用于硅基太阳电池高效陷光的四种表面纳米织构,即金属纳米颗粒、纳米线、纳米锥和纳米孔.相对于其他三种表面纳米织构,纳米孔具有更好的结构特性和陷光能力.详细介绍了各种表面纳米织构的制备方法,如金属薄膜退火、金属诱导化学腐蚀、干法刻蚀、深紫外光刻和纳米球光刻等.通过表面纳米织构提高效率是太阳电池领域的重点研究内容.表面纳米织构以其优异的光电特性,将在未来高效光伏器件中得到重要应用.
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