【摘 要】
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一、引言目前在诸如离子源等电物理装置上都需要供气系统,以供给不同气种和气量的气体。国内一般都使用微调针形阀控制工作气体的流量,但在气源为一百多个大气压的瓶装气体
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一、引言目前在诸如离子源等电物理装置上都需要供气系统,以供给不同气种和气量的气体。国内一般都使用微调针形阀控制工作气体的流量,但在气源为一百多个大气压的瓶装气体时,就必须配备以稳压减压阀使
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