【摘 要】
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提出了一种全新的nm级微位移测量方法,改进了传统光杠杆测微位移的原理,研究开发了一种激光微位移测量系统。该方法可以将微位移量放大102量级以上,测量系统的理论分辨率为4n
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提出了一种全新的nm级微位移测量方法,改进了传统光杠杆测微位移的原理,研究开发了一种激光微位移测量系统。该方法可以将微位移量放大102量级以上,测量系统的理论分辨率为4nm、实测分辨率小于10nm,实验验证了该系统的可行性和可靠性。该系统适用范围广、灵敏度高、重复性好和结构简单,便于构成微电机系统(MEMS),实现系统微型化及自动化。
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