多弧离子镀设备阴极电弧蒸发源工作稳定性的研究

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多弧离子镀技术近年来发展极为迅速,已生产出多种类型的多弧离子镀设备并已投产使用。设备中阴极电弧蒸发源工作性能的好坏直接影响到产品质量。本文在大量实验的基础上对蒸发源的工作稳定性,进行了探讨、研究,分析其影响因素和原因,并提出一些解决办法。 Multi-arc ion plating technology developed very rapidly in recent years, has produced many types of multi-arc ion plating equipment and has been put into operation. Cathode arc evaporation equipment in the working performance of a direct impact on product quality. Based on a large number of experiments, this paper discusses the working stability of the evaporation source, studies and analyzes its influencing factors and causes, and puts forward some solutions.
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