白光干涉仪测量光通信用V型槽纤芯距研究

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根据白光干涉理论,研制了水平扫描白光干涉长度测量仪.该系统主要包括水平扫描定位工作台及驱动部分、白光干涉显微镜、光栅位移传感器、CCD摄像头、计算机及其接口电路.所研制的测量系统具有1nm的精度,可用于对V型槽纤芯距测量.
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