通用工艺与设备 热处理与表面处理工艺

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0626019阳极氧化中烧损行为及防止〔刊,中〕/王平//西华大学学报(自然科学版).—2006,25(4).—41-43(G)0626020利用热退火法从非晶硅薄膜中生长纳米硅粒〔刊,中〕/薛清//量子电子学报.—2006,23(4).—565-568(L)报道了一种从氢化非晶硅薄膜中生长纳米硅粒的方法。氢化非晶硅薄 Journal of Xihua University (Natural Science Edition). - 2006,25 (4) .- 41-43 (G) 0626020 Effect of heat treatment on the burnout of anodic oxidation and its prevention [J] Growth of Nanosized Silicon in Amorphous Silicon Thin Films [J]; Xue Xueqiang / Quantum Electronics.-2006,23 (4) .- 565-568 (L) Method of nano-silicon particles. Hydrogenated amorphous silicon thin
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