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高精度超薄水晶片的加工效率、表面损伤及翘曲变形等问题，一直是从事该方面研究和生产的难题之一。本文利用超声加工宏观磨削力、磨削应力、磨削热小，对加工材料表面损伤低的特点，再结合相关磨料对高精度超薄水晶片表面进行超声磨削加工。在工作机理研究的基础上，对超薄水晶片超声磨削进行了实验研究，优化了其工作参数，获得了满意的效果，为该技术的实际应用奠定了理论与实验基础。