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提出了彩色ＰＤＰ喷砂工艺障壁层清除速率的测量公式和减小测量误差的方法，讨论了影响清除速率的相关参数及用清除速率定量控制喷砂工艺的条件。指出高耐磨并采用特殊设计的喷头是提高喷砂工艺稳定性和可控性的关键，小孔径圆柱状喷头不适用于大生产喷砂工艺。
彩色PDP喷砂工艺的障壁层清除速率和工艺稳定性研究
【摘 要】
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提出了彩色ＰＤＰ喷砂工艺障壁层清除速率的测量公式和减小测量误差的方法，讨论了影响清除速率的相关参数及用清除速率定量控制喷砂工艺的条件。指出高耐磨并采用特殊设计的喷头是提
【机 构】
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南京电子器件研究所国家平板显示工程技术中心
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2000年6期
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