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三氯氢硅主要用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅偶联剂中最基本的单体，同时也是制备多晶硅的主要原料。所以，三氯氢硅对于我们的生产生活有着举足轻重的作用。但是，三氯氢硅的传统生产工艺上存在着较多的缺陷，急需要改进。文章主要分析了三氯氢硅生产工艺流程，以及其中存在的缺陷和问题，并针对性的提出了三氯氢硅生产过程中的工艺整改措施。