聚合物光波导45°反射面形成工艺研究

来源 :电子工艺技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：my_sunday_tongxing

【摘要】

：

为了降低传输中的损耗,基于聚合物光波导实现光互连以满足系统应用.基于聚合物光波导传输理论,设计了含45°角的传输结构,梳理了制备流程.针对聚合物光波导45°反射面制备难

【作者】

：

赵飞陈雨肖垣明卢立东

【机构】

：

中国电子科技集团公司第五十四研究所,河北石家庄,050081河北诺亚人力资源开发有限公司,河北石家庄,050035;

【出处】

：

电子工艺技术

【发表日期】

：

2018年5期

【关键词】

：

光波导 45°反射面互连前处理光刻传输损耗

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为了降低传输中的损耗,基于聚合物光波导实现光互连以满足系统应用.基于聚合物光波导传输理论,设计了含45°角的传输结构,梳理了制备流程.针对聚合物光波导45°反射面制备难题,通过前处理、包层光刻、芯层匀胶和芯层曝光等技术,获得线宽精度高和传输损耗低的光波导结构.通过对该结果测试表明,传输特性满足使用要求,可作为通信的重要手段.

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