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以激光自聚焦伺服原理为基础研究高精度的测微新方法,具有分辨率高,结构轻巧,动态响应快,非接触测量及价格低廉等优点,能够广泛方便地应用在各种位移、振动、变形及产品质量的尺寸检测等领域,测量精度可稳定达到0.1μM,自聚焦伺服测量范围可达－10μM~+10μ
高精度激光伺服测微新方法的研究
【摘 要】
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以激光自聚焦伺服原理为基础研究高精度的测微新方法,具有分辨率高,结构轻巧,动态响应快,非接触测量及价格低廉等优点,能够广泛方便地应用在各种位移、振动、变形及产品质量
【机 构】
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同济大学机械工程系
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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1999年3期
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