【摘 要】
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三维集成电路通过高密度金属互连线实现芯片在三维空间上互连,其电路参数的快速提取是保证信号完整性良好设计的关键技术之一.文中基于体积分混合势积分方程(mixed potential
【基金项目】
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国家自然科学基金(61801010,61427803);"十三五"装备预研领域基金(61402090602);北京市自然科学基金(4194082)
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三维集成电路通过高密度金属互连线实现芯片在三维空间上互连,其电路参数的快速提取是保证信号完整性良好设计的关键技术之一.文中基于体积分混合势积分方程(mixed potential integral equation,MPIE)方法,结合多层平面介质格林函数与预纠正快速傅里叶变换(pre-corrected fast fourier transformation,pFFT)方法,通过对互连线内趋肤电流准确建模,实现对互连线结构S参数的快速准确提取.通过对典型互连线结构的仿真表明,本文求解器得到的结果与商业软
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