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通过对蓝宝石衬底片精密加工的设备、工具、辅料、清洗等方面的研究,优化了衬底片加工工艺,提高了衬底片加工质量,且降低了加工成本.
蓝宝石衬底片精密加工工艺研究
【摘 要】
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通过对蓝宝石衬底片精密加工的设备、工具、辅料、清洗等方面的研究,优化了衬底片加工工艺,提高了衬底片加工质量,且降低了加工成本.
【机 构】
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南京航空航天大学机电学院210016
【出 处】
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现代制造工程
【发表日期】
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2001年9期
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