基于SOI的低横向灵敏度压阻式加速度计的设计

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yinyilin183

【摘要】

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【作者】

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林立娜梁庭李鑫杨娇燕李奇思雷程

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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压阻式加速度计微电子机械系统(MEMS) 绝缘体上硅(SOI) 低横向灵敏度有限元仿真

【基金项目】

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国家自然科学基金杰出青年基金资助项目(51425505)

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