论文部分内容阅读
高温高能离子注入机是宽禁带半导体SiC产业的关键设备，离子源直接影响整机的性能指标。为保证离子源的长寿命和大束流，针对SiC高温高能离子注入机中的离子源热场问题，采用仿真软件对灯丝、阴极帽和AlX罩的热场、热变形进行了研究，提出了离子源运用过程中的注意事项及改进设计。
SiC高温高能离子注入机的离子源热场研究
【摘 要】
：
高温高能离子注入机是宽禁带半导体SiC产业的关键设备，离子源直接影响整机的性能指标。为保证离子源的长寿命和大束流，针对SiC高温高能离子注入机中的离子源热场问题，采用仿真软
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十八研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2017年3期
其他文献
阐述了应用激光修补技术在玻璃基板上去除金属及其化合物薄膜和在玻璃基板上沉积金属薄膜的图形缺陷修补原理与方法;简述了影响薄膜图形缺陷修补质量与效率的关键技术;简单介
通过有限元模拟的方法对线轮轴进行静力分析和模态分析,求出线轮轴在工作状态下的挠度以及其振动模态。通过静力学分析表明,线轮轴在工作状态下的挠度很小,几乎可以忽略不计
介绍了设备软件测试目的和意义,以及传统设备软件测试存在的误区,分析了设备软件测试各阶段应遵循的原则和保证设备软件质量应在软件开发各阶段遵循的管理过程。
采用稀释HF溶液对亲水性的硅抛光片表面进行了疏水改性,并对HF腐蚀硅片表面氧化层、钝化表面的机理进行了分析.研究了HF溶液浓度和反应时间对硅抛光片表面颗粒度和接触角的影