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对激光化学气相沉积纳米硅的红外光谱进行了研究，结合红外光场光谱考察了退火处理对其红外光谱吸收峰位置的影响，对纳米硅的红外吸收峰进行了标识和讨论。
激光诱导化学气相沉积纳米硅的红外光谱
【摘 要】
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对激光化学气相沉积纳米硅的红外光谱进行了研究，结合红外光场光谱考察了退火处理对其红外光谱吸收峰位置的影响，对纳米硅的红外吸收峰进行了标识和讨论。
【机 构】
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中国科学院国际材料物理中心,华南师范大学量子电子学研究所,中国科学院安徽光学精密机械研究所
【出 处】
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量子电子学
【发表日期】
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1996年1期
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