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美国SiTime公司正在开发未来用于硅振荡器的新结构MEMS振子。MEMS振荡器（硅振荡器）是由利用MEMS技术制造的硅共振结构（振子）和驱动电路等组合构成的，该公司目前量产的产品使用共振频率为5MHz的振子，通过PLL电路转换为符合客户要求的频率后输出时钟。
SiTime开发新结构MEMS振子
【摘 要】
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美国SiTime公司正在开发未来用于硅振荡器的新结构MEMS振子。MEMS振荡器（硅振荡器）是由利用MEMS技术制造的硅共振结构（振子）和驱动电路等组合构成的，该公司目前量产的产品使用共振
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2008年5期
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