ZnSnO_3透明导电薄膜：溶胶-凝胶法制备及性能

来源 :无机化学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：nestle

【摘要】

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采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）过程和旋涂法制备了Zn-Sn-O系统薄膜。通过对干凝胶的热重-差示扫描同步热分析（TG-DSC）,研究了干凝胶在烧结过程中的反应历程。采用X射线衍射（XRD）、X射线光

【作者】

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季伶俐贺蕴秋李乐

【机构】

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同济大学材料科学与工程学院,同济大学先进土木工程材料教育部重点实验室

【出处】

：

无机化学学报

【发表日期】

：

2012年3期

【关键词】

：

ZnSnO3 薄膜溶胶-凝胶法透明性导电材料 ZnSnO3 thin films Sol-Gel process transparency con

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采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）过程和旋涂法制备了Zn-Sn-O系统薄膜。通过对干凝胶的热重-差示扫描同步热分析（TG-DSC）,研究了干凝胶在烧结过程中的反应历程。采用X射线衍射（XRD）、X射线光电子能谱（XPS）、场发射扫描电镜（FE-SEM）以及紫外-可见透过率（UV-Vis）等表征了烧结后薄膜的晶相、晶格缺陷、微观形貌以及紫外-可见光透过率。本文还研究了烧结温度、N2气氛热处理以及组成变化对薄膜电阻率的影响,结果表明：偏锡酸锌ZnSnO3晶体薄膜具有较低的电阻率;当nZn/（nZn＋nSn）=5

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